{"id":62110,"date":"2025-04-20T16:23:05","date_gmt":"2025-04-20T16:23:05","guid":{"rendered":"https:\/\/enfoquenoticioso.com\/?p=62110"},"modified":"2025-04-20T16:23:05","modified_gmt":"2025-04-20T16:23:05","slug":"un-componente-critico-de-las-maquinas-actuales-de-fabricacion-de-chips","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/enfoquenoticioso.com\/?p=62110","title":{"rendered":"un componente cr\u00edtico de las m\u00e1quinas actuales de fabricaci\u00f3n de chips"},"content":{"rendered":"<div>\n<p>Los equipos de <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/esta-maquina-fabricacion-chips-avanzada-planeta-espectacular-su-complejidad-roza-inaudito\" data-vars-post-title=\"Esta es la m\u00e1quina de fabricaci\u00f3n de chips m\u00e1s avanzada del planeta. Es espectacular y su complejidad roza lo inaudito\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/esta-maquina-fabricacion-chips-avanzada-planeta-espectacular-su-complejidad-roza-inaudito\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">fotolitograf\u00eda de ultravioleta extremo<\/a> (UVE) que fabrica la compa\u00f1\u00eda neerlandesa ASML son extraordinariamente sofisticados. De hecho, son los que utilizan actualmente TSMC, Samsung, Intel, SY Hynix y Micron Technology para <strong>producir circuitos integrados de vanguardia<\/strong>. Son tan complejos que durante las primeras fases de su dise\u00f1o a principios de los a\u00f1os 90 del siglo pasado los ingenieros de ASML <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/monopolio-invisible-asml-indiscutible-tecnologia-estas-empresas-no-habria-llegado-a-cima\" data-vars-post-title=\"El &quot;monopolio invisible&quot; de ASML es indiscutible. Aunque sin la tecnolog\u00eda de estas empresas no habr\u00eda llegado a la cima\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/monopolio-invisible-asml-indiscutible-tecnologia-estas-empresas-no-habria-llegado-a-cima\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">cre\u00edan que era imposible ponerlos a punto<\/a>.<\/p>\n<p><!-- BREAK 1 --> <\/p>\n<p>Sin embargo, todo cambi\u00f3 en 1997. Ese a\u00f1o Jos Benschop, el l\u00edder del departamento de investigaci\u00f3n, reevalu\u00f3 si la tecnolog\u00eda UVE era una opci\u00f3n viable. Despu\u00e9s de las primeras pruebas se dio cuenta de que <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/moviles\/opticas-smartphones-tienen-impacto-monumental-calidad-nuestras-fotos-expertos-zeiss-vivo-nos-explican-que\" data-vars-post-title=\"El gran reto de dise\u00f1ar una \u00f3ptica fotogr\u00e1fica en miniatura para un tel\u00e9fono m\u00f3vil: visitamos el laboratorio de ZEISS y vivo\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/moviles\/opticas-smartphones-tienen-impacto-monumental-calidad-nuestras-fotos-expertos-zeiss-vivo-nos-explican-que\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">la compa\u00f1\u00eda alemana Zeiss<\/a> era capaz de desarrollar los espejos extraordinariamente sofisticados que ser\u00edan necesarios para transportar la luz ultravioleta. Y no se equivoc\u00f3. Aquel fue el aut\u00e9ntico punto de partida de la tecnolog\u00eda que ha hecho posible que nuestros tel\u00e9fonos m\u00f3viles y ordenadores tengan chips tan avanzados.<\/p>\n<p><!-- BREAK 2 --><\/p>\n<div id=\"ez-toc-container\" class=\"ez-toc-v2_0_81 counter-hierarchy ez-toc-counter ez-toc-grey ez-toc-container-direction\">\n<div class=\"ez-toc-title-container\">\n<p class=\"ez-toc-title\" style=\"cursor:inherit\">Tabla de Contenido<\/p>\n<span class=\"ez-toc-title-toggle\"><a href=\"#\" class=\"ez-toc-pull-right ez-toc-btn ez-toc-btn-xs ez-toc-btn-default ez-toc-toggle\" aria-label=\"Alternar tabla de contenidos\"><span class=\"ez-toc-js-icon-con\"><span class=\"\"><span class=\"eztoc-hide\" style=\"display:none;\">Toggle<\/span><span class=\"ez-toc-icon-toggle-span\"><svg style=\"fill: #999;color:#999\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\" class=\"list-377408\" width=\"20px\" height=\"20px\" viewBox=\"0 0 24 24\" fill=\"none\"><path d=\"M6 6H4v2h2V6zm14 0H8v2h12V6zM4 11h2v2H4v-2zm16 0H8v2h12v-2zM4 16h2v2H4v-2zm16 0H8v2h12v-2z\" fill=\"currentColor\"><\/path><\/svg><svg style=\"fill: #999;color:#999\" class=\"arrow-unsorted-368013\" xmlns=\"http:\/\/www.w3.org\/2000\/svg\" width=\"10px\" height=\"10px\" viewBox=\"0 0 24 24\" version=\"1.2\" baseProfile=\"tiny\"><path d=\"M18.2 9.3l-6.2-6.3-6.2 6.3c-.2.2-.3.4-.3.7s.1.5.3.7c.2.2.4.3.7.3h11c.3 0 .5-.1.7-.3.2-.2.3-.5.3-.7s-.1-.5-.3-.7zM5.8 14.7l6.2 6.3 6.2-6.3c.2-.2.3-.5.3-.7s-.1-.5-.3-.7c-.2-.2-.4-.3-.7-.3h-11c-.3 0-.5.1-.7.3-.2.2-.3.5-.3.7s.1.5.3.7z\"\/><\/svg><\/span><\/span><\/span><\/a><\/span><\/div>\n<nav><ul class='ez-toc-list ez-toc-list-level-1 ' ><li class='ez-toc-page-1 ez-toc-heading-level-2'><a class=\"ez-toc-link ez-toc-heading-1\" href=\"https:\/\/enfoquenoticioso.com\/?p=62110\/#La_proeza_de_Zeiss_llego_en_los_90\" >La proeza de Zeiss lleg\u00f3 en los 90<\/a><\/li><\/ul><\/nav><\/div>\n<h2><span class=\"ez-toc-section\" id=\"La_proeza_de_Zeiss_llego_en_los_90\"><\/span>La proeza de Zeiss lleg\u00f3 en los 90<span class=\"ez-toc-section-end\"><\/span><\/h2>\n<p>Uno de los elementos m\u00e1s complejos de las m\u00e1quinas de litograf\u00eda UVE es <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/china-imparable-esta-terminando-megafuente-luz-ultravioleta-para-fabricar-chips-vanguardia\" data-vars-post-title=\"China sigue imparable: est\u00e1 terminando una megafuente de luz ultravioleta para fabricar chips de vanguardia\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/china-imparable-esta-terminando-megafuente-luz-ultravioleta-para-fabricar-chips-vanguardia\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">la fuente de luz ultravioleta<\/a>. La fabrica la empresa de origen estadounidense Cymer, aunque desde 2013 no es una compa\u00f1\u00eda independiente. Ese a\u00f1o los ejecutivos de ASML decidieron comprarla para acelerar el desarrollo de las tecnolog\u00edas involucradas en la litograf\u00eda UVE. Un apunte interesante: la luz ultravioleta se responsabiliza de transportar el patr\u00f3n geom\u00e9trico descrito por la m\u00e1scara para que pueda ser transferido con much\u00edsima precisi\u00f3n a la superficie de la oblea de silicio.<\/p>\n<p><!-- BREAK 3 -->  <\/p>\n<div class=\"article-asset article-asset-normal article-asset-center\">\n<div class=\"desvio-container\">\n<div class=\"desvio\">\n<div class=\"desvio-figure js-desvio-figure\">\n    <a href=\"https:\/\/www.xataka.com\/investigacion\/cern-ha-conseguido-algo-precedentes-transformar-sensores-smartphones-camara-antimateria\" class=\"pivot-outboundlink\" data-vars-post-title=\"El CERN ha conseguido algo sin precedentes: transformar los sensores de los smartphones en una c\u00e1mara de antimateria\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\"><br \/>\n     <img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" alt=\"El CERN ha conseguido algo sin precedentes: transformar los sensores de los smartphones en una c\u00e1mara de antimateria\" width=\"375\" height=\"142\" src=\"https:\/\/i.blogs.es\/75b109\/aegis-ap\/375_142.jpeg\"\/><br \/>\n    <\/a>\n   <\/div>\n<\/p><\/div>\n<\/p><\/div>\n<\/div>\n<p>Entender qu\u00e9 es la m\u00e1scara es sencillo: no es otra cosa que una plantilla f\u00edsica que contiene el dise\u00f1o del circuito integrado que es necesario transferir a la oblea de silicio. En cualquier caso, hay otro componente sin cuya intervenci\u00f3n <strong>no es posible llevar a cabo esta tarea crucial<\/strong>. Otros componentes, en plural, en realidad, aunque todos ellos son de un mismo tipo. Se trata, precisamente, de los espejos que Jos Benschop sospechaba en 1997 que podr\u00eda producir Zeiss.<\/p>\n<p><!-- BREAK 4 --><\/p>\n<div class=\"article-asset-summary article-asset-small article-asset-right\">\n<div class=\"asset-content\">\n<p class=\"sumario_derecha\">La luz de 11,4 nm fue descartada porque obligaba a utilizar berilio en los espejos y es un elemento qu\u00edmico t\u00f3xico<\/p>\n<\/p><\/div>\n<\/div>\n<p>El rol de los elementos \u00f3pticos de esta compa\u00f1\u00eda en estos equipos de litograf\u00eda es crucial. Y lo es porque se responsabilizan de trasladar la luz UVE con una longitud de onda de 13,5 nm desde la fuente que se encarga de su emisi\u00f3n hasta la m\u00e1scara que contiene el patr\u00f3n geom\u00e9trico que es necesario plasmar en la oblea de silicio. Si los espejos que intervienen en la propagaci\u00f3n de la luz UVE no est\u00e1n fabricados con una enorme precisi\u00f3n el patr\u00f3n geom\u00e9trico definido por la m\u00e1scara se ver\u00e1 alterado, y los chips resultar\u00e1n da\u00f1ados.<\/p>\n<p><!-- BREAK 5 --><\/p>\n<p>Curiosamente, la elecci\u00f3n de la longitud de onda de la luz UVE que emplean estas m\u00e1quinas fue una decisi\u00f3n muy delicada. Inicialmente los ingenieros involucrados en su puesta a punto ten\u00edan cuatro posibles opciones: <strong>13,5 nm, 11,4 nm, 6,6 nm y 4,8 nm<\/strong>. Estas dos \u00faltimas longitudes de onda finalmente se descartaron debido a las limitaciones que impon\u00edan <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/80-japon-lideraba-industria-chips-ahora-solo-mantiene-monopolio-fotorresistencia\" data-vars-post-title=\"En los a\u00f1os 80 Jap\u00f3n lideraba la industria de los chips. Ahora solo mantiene un monopolio: la fotorresistencia\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/80-japon-lideraba-industria-chips-ahora-solo-mantiene-monopolio-fotorresistencia\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">los materiales fotorresistentes org\u00e1nicos<\/a>. La luz de 11,4 nm tambi\u00e9n fue descartada porque obligaba a utilizar berilio en los espejos, y es un elemento qu\u00edmico t\u00f3xico.<\/p>\n<p><!-- BREAK 6 --> <\/p>\n<p>La longitud de onda de 13,5 nm requer\u00eda introducir en los espejos molibdeno y silicio, pero estos elementos no plantean ning\u00fan problema. Este es el motivo por el que las m\u00e1quinas UVE trabajan con esta luz. En cualquier caso, este dato refleja claramente el extraordinario nivel de precisi\u00f3n con el que es necesario fabricar los espejos: Zeiss utiliza iones de arg\u00f3n y otros elementos para pulir capa por capa a nivel at\u00f3mico los espejos, y despu\u00e9s identifica y corrige los defectos empleando una t\u00e9cnica de an\u00e1lisis subnanom\u00e9trico. Esta \u00faltima herramienta es capaz de detectar defectos con una precisi\u00f3n inferior a un nan\u00f3metro (menos de una milmillon\u00e9sima parte de un metro).<\/p>\n<p><!-- BREAK 7 --><!-- PIVOT START --><\/p>\n<div class=\"pivot-ecommerce-container m-pivot-ecommerce-redesign article-asset-normal article-asset-center\">\n<div class=\"pivot-ecommerce\">\n<div class=\"pivot-ecommerce-figure\">\n  <a rel=\"nofollow, sponsored, noopener, noreferrer\" target=\"_blank\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/redirect?url=https%3A%2F%2Fwww.amazon.es%2Fdp%2F946382362X%3Ftag%3Dxataka-21%26linkCode%3Dogi%26th%3D1%26psc%3D1&amp;category=empresas-y-economia&amp;pivot=1&amp;ecomPostExpiration=not_classified&amp;postId=317188\"><br \/>\n   <img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" alt=\"Focus: The ASML Way\" width=\"326\" height=\"500\" src=\"https:\/\/i.blogs.es\/a96d9a\/51rgm9tdsel._sl500_\/original.jpeg\"\/><br \/>\n  <\/a>\n  <\/div>\n<\/p><\/div>\n<p>* Alg\u00fan precio puede haber cambiado desde la \u00faltima revisi\u00f3n<\/p>\n<\/p><\/div>\n<p><!-- PIVOT END --><\/p>\n<p>Imagen | <a rel=\"noopener, noreferrer\" href=\"https:\/\/www.zeiss.com\/semiconductor-manufacturing-technology\/news-and-events\/smt-press-releases\/2025\/euv-30-years.html\" target=\"_blank\">Zeiss<\/a><\/p>\n<p>Bibliograf\u00eda | <a href=\"https:\/\/www.xataka.com\/redirect?url=https%3A%2F%2Fwww.amazon.es%2FFocus-ASML-Way-Marc-Hijink%2Fdp%2F946382362X%2Fref%3Dsr_1_1%3Fcrid%3DQWJFU0GX94TZ%26dib%3DeyJ2IjoiMSJ9.txLmaPR9FJ2Dgcw3ndKjY3iVi-wtIMkfh5cKxF1HvYNtbNyBOFGNC3L5gewRjHdsOkCgZRYEbbKesY9-T8oAz7yjA-o2IlQCYd23Hkpc81RpmuhJoh3UgeD8vtuoVNmoTuMiBhLsPLpysdXtb8ryhQ.q8j72TH0NtvM3CWA3kR8R0lHZtjgwzyXfpORIAWnQJM%26dib_tag%3Dse%26keywords%3Dfocus%2Bthe%2Basml%2Bway%26qid%3D1741870633%26sprefix%3Dfocus%2Bthe%2Ba%252Caps%252C107%26sr%3D8-1&amp;category=literatura-comics-y-juegos&amp;ecomPostExpiration=not_classified&amp;postId=315988\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">&#8216;Focus: The ASML Way&#8217;<\/a>, de Marc Hijink<\/p>\n<p>M\u00e1s informaci\u00f3n | <a rel=\"noopener, noreferrer\" href=\"https:\/\/www.zeiss.com\/semiconductor-manufacturing-technology\/news-and-events\/smt-press-releases\/2025\/euv-30-years.html\" target=\"_blank\">Zeiss<\/a> | <a rel=\"noopener, noreferrer\" href=\"https:\/\/asianometry.passport.online\/member\/episode\/how-the-euv-mirrors-are-made?access_token=eyJhbGciOiJFUzI1NiIsImtpZCI6ImFzaWFub21ldHJ5LnBhc3Nwb3J0Lm9ubGluZSIsInR5cCI6IkpXVCJ9.eyJhdWQiOiJhc2lhbm9tZXRyeS5wYXNzcG9ydC5vbmxpbmUiLCJhenAiOiJWRmoyM1ZBZFpESzJNQ1ZYc3VXYTN2IiwiZW50Ijp7InVyaSI6WyJodHRwczovL2FzaWFub21ldHJ5LnBhc3Nwb3J0Lm9ubGluZS9tZW1iZXIvZXBpc29kZS9ob3ctdGhlLWV1di1taXJyb3JzLWFyZS1tYWRlIl19LCJleHAiOjE3NDY1NzM0MTMsImlhdCI6MTc0Mzk4MTQxMywiaXNzIjoiaHR0cHM6Ly9hcHAucGFzc3BvcnQub25saW5lL29hdXRoIiwic2NvcGUiOiJmZWVkOnJlYWQgYXJ0aWNsZTpyZWFkIGFzc2V0OnJlYWQgY2F0ZWdvcnk6cmVhZCBlbnRpdGxlbWVudHMiLCJzdWIiOiJDS1BycWdmS0tud3ZwUno4bXF6c2UiLCJ1c2UiOiJhY2Nlc3MifQ.0M-NQam17khz-789bAU8RjljrQsMXzF05Ue5u7AjW_msPR_t2q7OGmYJM94opmdIbBx0F86jR_T4G-c4-NDtng\" target=\"_blank\">Asianometry<\/a><\/p>\n<p>En Xataka | <a class=\"text-outboundlink\" href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/2024-ha-sido-ano-repleto-incertidumbre-para-disenadores-chips-tanta-que-mercado-ha-cambiado-lider\" data-vars-post-title=\"2024 ha sido un a\u00f1o repleto de incertidumbre para los dise\u00f1adores de chips. Tanta que el mercado ha cambiado de l\u00edder\" data-vars-post-url=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/2024-ha-sido-ano-repleto-incertidumbre-para-disenadores-chips-tanta-que-mercado-ha-cambiado-lider\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">2024 ha sido un a\u00f1o repleto de incertidumbre para los dise\u00f1adores de chips. Tanta que el mercado ha cambiado de l\u00edder<\/a><\/p>\n<\/p><\/div>\n<p><a href=\"https:\/\/www.xataka.com\/empresas-y-economia\/90-alemania-hizo-algo-que-parecia-imposible-componente-critico-maquinas-actuales-fabricacion-chips\" class=\" target=\" title=\"un componente cr\u00edtico de las m\u00e1quinas actuales de fabricaci\u00f3n de chips\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">Ver fuente<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Los equipos de fotolitograf\u00eda de ultravioleta extremo (UVE) que fabrica la compa\u00f1\u00eda neerlandesa ASML son extraordinariamente sofisticados. De hecho, son los que utilizan actualmente TSMC, Samsung, Intel, SY Hynix y Micron Technology para producir circuitos integrados de vanguardia. 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